等离子体是指一种全部或部分被电离的气体，气态物质在热、电等能量的作用下产生不同程度的分子及电子的分离，形成带负电荷的电子和带正电荷的离子等这种包含原子、分子、电子、离子、光子、各种亚稳态和激发态粒子的混合气体即为等离子体。等离子体是物质继固、液、气三态后的又一种聚集态--第四态，它是由极具反应活性的电子、离子、自由基、激发态的原子、分子等活性粒子组成的聚合体。

当废气经过等离子发生器时，在高压脉冲电场中，通过前后沿陡峭、脉宽极窄（ns）的高压脉冲电晕放电，在常温下获得非平衡高能低温等离子体，即产生大量高能电子（约5eV）和具有极强氧化性能的自由基（·OH、·HO2、·O ）、以及子氧化性极强O3 等高能活性粒子，与废气中有机物分子进行非弹性碰撞，使有机物分子化学键断裂，发生一系列复杂氧化、降解化学反应，最终使废气中有毒有害有机物转变为无害的二氧化碳和水等，使废气得到净化。